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打造中國領先的LED半導體AMHS設備提供商

時間:2022/06/17 作者:admin 閱讀:1054

      隨著科技的飛速發展,半導體工廠對于自動化生產模式產生了迫切的需求。通過AMHS智能物流系統在各個工藝設備之間進行物料傳輸,不僅可以提高工廠的生產效率,還可以監控物料的狀態和每一片晶圓的生產過程,從而保證產品的品質。AMHS系統在半導體行業被廣泛應用,如半導體IC晶圓廠中使用的天車系統等,但由于其成本投入巨大,在LED晶圓工廠難以實施,所以LED晶圓傳輸基本上處于人工操作的原始狀態,效率較低,也無法滿足如Mini LED,Micro LED等高端產品的高品質要求。

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      福賽特自主研發的MOCVD AMHS智能物流系統,已經在行業頭部客戶處投入運行生產。該系統實現MOCVD工藝設備的晶圓倒片、晶圓傳輸以及數據記錄和追溯功能,有效降低了人工成本,并通過全自動生產的方式減少了人工參與造成的產品不良,降低了石墨盤的損耗從而提高了其使用壽命。  

      該系統主要分為倒片區設備和MOCVD工藝設備區設備。倒片區設備主要包括晶圓倒片機,電子貨架、倒片區定制AGV和AGV充電設備;MOCVD工藝設備區設備主要包括MOCVD工藝設備、MOCVD中轉單元、工藝設備區定制AGV和AGV充電設備。除MOCVD工藝設備外的其它所有設備均由上海福賽特機器人有限公司提供。MOCVD AMHS智能物流系統具有全自動、高節拍、高精度、高配置、智能化、可擴展等特點。

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MOCVD AMHS智能物流系統具有全自動、高節拍、高精度、高配置、智能化、可擴展等特點。

· AGV運載石墨盤根據調度系統指令自動在電子貨架、晶圓倒片機、MOCVD中轉單元之間對接;

· 電子貨架存儲石墨盤且與中控系統實時通訊并監控石墨盤狀態;

· 晶圓倒片機實現自動上下石墨盤、Pocket自動清潔、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動上片、自動下片、Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES;

·MOCVD中轉單元與MOCVD工藝設備無縫對接,實現自動上下石墨盤,收集MOCVD腔體狀態信息并與中控系統通訊;

·該系統上下片的節拍為425pcs/小時;產品良率≧99.9%;晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.05mm,±0.1度以內。

       MOCVD AMHS 智能物流系統能夠大幅提升工藝設備的運行效率,顯著提升產品良率,是LED半導體高端制造的首選。福賽特將繼續深耕半導體設備行業,在已推出的PVD晶圓倒片機,PSS晶圓上下片機,MOCVD AMHS系統等獨家自主研發產品的基礎上,繼續加大研發力度,進一步優化交付和服務質量,成為中國領先的LED半導體AMHS設備提供商!





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