隨著科技的飛速發(fā)展，半導體工廠對于自動化生產(chǎn)模式產(chǎn)生了迫切的需求。通過AMHS智能物流系統(tǒng)在各個工藝設備之間進行物料傳輸，不僅可以提高工廠的生產(chǎn)效率，還可以監(jiān)控物料的狀態(tài)和每一片晶圓的生產(chǎn)過程，從而保證產(chǎn)品的品質(zhì)。AMHS系統(tǒng)在半導體行業(yè)被廣泛應用，如半導體IC晶圓廠中使用的天車系統(tǒng)等，但由于其成本投入巨大，在LED晶圓工廠難以實施，所以LED晶圓傳輸基本上處于人工操作的原始狀態(tài)，效率較低，也無法滿足如Mini LED，Micro LED等高端產(chǎn)品的高品質(zhì)要求。

      福賽特自主研發(fā)的MOCVD AMHS智能物流系統(tǒng)，已經(jīng)在行業(yè)頭部客戶處投入運行生產(chǎn)。該系統(tǒng)實現(xiàn)MOCVD工藝設備的晶圓倒片、晶圓傳輸以及數(shù)據(jù)記錄和追溯功能，有效降低了人工成本，并通過全自動生產(chǎn)的方式減少了人工參與造成的產(chǎn)品不良，降低了石墨盤的損耗從而提高了其使用壽命。  

      該系統(tǒng)主要分為倒片區(qū)設備和MOCVD工藝設備區(qū)設備。倒片區(qū)設備主要包括晶圓倒片機，電子貨架、倒片區(qū)定制AGV和AGV充電設備；MOCVD工藝設備區(qū)設備主要包括MOCVD工藝設備、MOCVD中轉(zhuǎn)單元、工藝設備區(qū)定制AGV和AGV充電設備。除MOCVD工藝設備外的其它所有設備均由上海福賽特機器人有限公司提供。MOCVD AMHS智能物流系統(tǒng)具有全自動、高節(jié)拍、高精度、高配置、智能化、可擴展等特點。

MOCVD AMHS智能物流系統(tǒng)具有全自動、高節(jié)拍、高精度、高配置、智能化、可擴展等特點。

· AGV運載石墨盤根據(jù)調(diào)度系統(tǒng)指令自動在電子貨架、晶圓倒片機、MOCVD中轉(zhuǎn)單元之間對接；

· 電子貨架存儲石墨盤且與中控系統(tǒng)實時通訊并監(jiān)控石墨盤狀態(tài)；

· 晶圓倒片機實現(xiàn)自動上下石墨盤、Pocket自動清潔、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動上片、自動下片、Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES；

·MOCVD中轉(zhuǎn)單元與MOCVD工藝設備無縫對接，實現(xiàn)自動上下石墨盤，收集MOCVD腔體狀態(tài)信息并與中控系統(tǒng)通訊；

·該系統(tǒng)上下片的節(jié)拍為425pcs/小時；產(chǎn)品良率≧99.9%；晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.05mm，±0.1度以內(nèi)。

       MOCVD AMHS 智能物流系統(tǒng)能夠大幅提升工藝設備的運行效率，顯著提升產(chǎn)品良率，是LED半導體高端制造的首選。福賽特將繼續(xù)深耕半導體設備行業(yè)，在已推出的PVD晶圓倒片機，PSS晶圓上下片機，MOCVD AMHS系統(tǒng)等獨家自主研發(fā)產(chǎn)品的基礎上，繼續(xù)加大研發(fā)力度，進一步優(yōu)化交付和服務質(zhì)量，成為中國領先的LED半導體AMHS設備提供商！