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PVD晶圓自動(dòng)倒片機(jī)FST-SC200W

應(yīng)用于LED半導(dǎo)體外延工藝段,可實(shí)現(xiàn)晶圓從原料倉(cāng)至PVD工序之間以及PVD工序到MOCVD工序之間的周轉(zhuǎn)。主要由Foup交替上料區(qū)、Cassette立體倉(cāng)儲(chǔ)、機(jī)器人取放盤(pán)機(jī)構(gòu)、機(jī)器人自動(dòng)上下片組成。
設(shè)備參數(shù)
類(lèi)別內(nèi)容
設(shè)備節(jié)拍
288pcs/h
產(chǎn)品良率≧99.5%
設(shè)備精度晶圓片上下片重復(fù)定位精度可達(dá)到±0.1mm,±0.15度以內(nèi)
設(shè)備尺寸L2.8m*W1.5m**H2.45m


設(shè)備優(yōu)勢(shì)

使用場(chǎng)景:外延段PVD工藝生產(chǎn)前后

全自動(dòng):自動(dòng)上盤(pán)、盤(pán)尋邊、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動(dòng)上片、同步實(shí)現(xiàn)自動(dòng)下片、Wafer ID與盤(pán)SN綁定LINK后上傳至MES

高配置:CCD自動(dòng)檢測(cè)、著名品牌工業(yè)機(jī)器人、全過(guò)程伺服控制系統(tǒng)、全過(guò)程智能檢測(cè)以及智能化操作系統(tǒng)等

高精度:晶圓片上下片重復(fù)定位精度可達(dá)到±0.1mm,±0.15度以內(nèi)

人性化:成熟先進(jìn)的自動(dòng)控制技術(shù),增加智能監(jiān)控,智能語(yǔ)音提醒,既滿足工業(yè)生產(chǎn)也兼顧人因工程

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