!精品国产99久久久久久宅男-成人乱码一区二区三区四区-av国产传媒精品免费-国产精品自在线拍国产第一页-日韩精品一区二区三区视频

Product Center
產(chǎn)品中心
首頁 > 產(chǎn)品中心> 半導體行業(yè)> MOCVD AMHS 智能晶圓輸送系統(tǒng)FST-CP-AMHS-100(MO)

MOCVD AMHS 智能晶圓輸送系統(tǒng)FST-CP-AMHS-100(MO)

實現(xiàn)LED半導體工廠核心工藝設(shè)備MOCVD的晶圓倒片及晶圓傳輸?shù)闹悄芑詣游锪习崴拖到y(tǒng)。由如下設(shè)備和子系統(tǒng)組成:MOCVD晶圓倒片機,配置了防塵貨架的AGV,存儲石墨盤的電子貨架,和與MOCVD對接實現(xiàn)上下片功能的周轉(zhuǎn)單元。
設(shè)備參數(shù)
類別內(nèi)容
設(shè)備節(jié)拍(上片或下片)425pcs/h
產(chǎn)品良率
≥99.9%
設(shè)備精度晶圓片上下片重復定位精度 可達到±0.05mm,±0.1度以內(nèi)
MO倒片機尺寸L4.5m*W2.6m*H2.4m
周轉(zhuǎn)單元尺寸L2.7m*W1.85m*H2.4m
AGV尺寸根據(jù)具體功能定制
電子貨架尺寸根據(jù)具體功能定制


設(shè)備優(yōu)勢

全自動:AGV運載石墨盤根據(jù)調(diào)度系統(tǒng)指令自動在電子貨架、MO倒片機,周轉(zhuǎn)單元對接;

電子貨架存儲石墨盤且與中控系統(tǒng)實時通訊監(jiān)控石墨盤狀態(tài);

MO倒片機實現(xiàn)自動上下石墨盤,Pocket自動清潔,晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動上片、可反流程實現(xiàn)自動下片,Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES;

周轉(zhuǎn)單元與MO設(shè)備無縫對接,實現(xiàn)自動上下石墨盤,收集MO腔體狀態(tài)信息于中控系統(tǒng)通訊;

高配置:CCD自動檢測、著名品牌工業(yè)機器人、全過程伺服控制系統(tǒng)、全過程智能檢測以及智能化操作系統(tǒng)等

人性化:成熟先進的自動控制技術(shù),增加智能監(jiān)控,智能語音提醒,既滿足工業(yè)生產(chǎn)也兼顧人因工程

在線留言
  • 企業(yè)名稱:
  • 企業(yè)所屬類型:
  • 姓名:
  • 職務:
  • 電話:
  • 郵箱:
  • 詳細需求描述:
    *了解更多我司產(chǎn)品,請?zhí)顚憙?nèi)容,如果有合作機會,我們會在48小時內(nèi)主動與您取得聯(lián)系,謝謝!
驗證碼:
主站蜘蛛池模板: 香蕉国产| 国产成人亚洲综合青青| 国产精品久久..4399| 国产尤物精品福利视频| 2021久久超碰国产精品最新| 上司人妻互换hd无码| 中国白嫩丰满人妻videos| 99国产欧美另娄久久久精品| 亚洲精品一区二区三区不卡| 色偷偷88888欧美精品久久久| 国产精品久久精品国产| 国产顶级熟妇高潮xxxxx| 超碰97人人做人人爱亚洲尤物| 色噜噜av男人的天堂| 日本高清二区视频久二区| 成人精品一区二区三区电影| 国产成人无码aⅴ片在线观看导航| 成人无码a∨电影免费| 青青草97国产精品免费观看| 国产精品美脚玉足脚交| 国产一区二区三区小说| 国产香蕉97碰碰视频va碰碰看| 少妇特黄a片一区二区三区| 亚洲成a人片在线观看你懂的| 少妇一夜三次一区二区| 欧美日韩午夜群交多人轮换| 漂亮人妻被强中文字幕久久| 久久国产精品无码hdav| 日韩精品射精管理在线观看| 亚洲一卡二卡三卡四卡无卡麻豆| 亚洲高清国产拍精品26u| 尤物精品视频无码福利网| 少妇被又大又粗又爽毛片久久黑人 | 性色av浪潮av| 北条麻妃在线观看| 国产精品久久久久永久免费看| 国产97人人超碰caoprom三级| 亚洲精品无码aⅴ中文字幕蜜桃| 国产成人啪精品午夜网站| 大屁股大乳丰满人妻| 久久国产精品偷|